Ultra Yüksək Saflıq (UHP) qazları yarımkeçirici sənayenin canlisidir. Qlobal tədarük zəncirləri üçün misli görünməmiş tələb və pozuntular kimi, ultra yüksək təzyiq qazının qiymətini təkan, yeni yarımkeçirici dizayn və istehsal təcrübəsi tələb olunan çirklənmə nəzarəti səviyyəsini artırır. Yarımkeçirici istehsalçıları üçün UHP qazının təmizliyini təmin edə bilmək həmişəkindən daha vacibdir.

Ultra Yüksək Saflıq (UHP) qazları müasir yarımkeçirici istehsalda tamamilə kritikdir

UHP qazının əsas tətbiqlərindən biri də quruluşdur: UHP qazı yarımkeçirici komponentlər ətrafında qoruyucu bir atmosfer təmin etmək üçün istifadə olunur, bununla da onları rütumun, oksigen və digər çirkləndiricilərin zərərli təsirlərindən qoruyur. Bununla birlikdə, inerstizasiya yarımkeçirici sənayesində qazların yerinə yetirdiyi bir çox fərqli funksiyalardan yalnız biridir. İbtidai plazma qazlarından istifadə olunan və ilkinləşmədə istifadə olunan reaktiv qazlara qədər, ultra yüksək təzyiq qazları çox fərqli məqsədlər üçün istifadə olunur və yarımkeçirici təchizatı zənciri boyunca vacibdir.

Yarımkeçirici sənayesindəki "əsas" qazların bir hissəsi daxildirazot(ümumi təmizlik və inert qaz kimi istifadə olunur),argon(ilkin plazma qazı və çökmə reaksiyalarında olan əsas plazma qazı kimi istifadə olunur),helium(xüsusi istilik ötürmə xüsusiyyətləri olan bir inert qaz kimi istifadə olunur) vəhidrogen(Anlaşmada, çökmə, epitaxy və plazma təmizliyində çox rol oynayır).

Yarımkeçirici texnologiya inkişaf edib dəyişdi, buna görə istehsal prosesində qazlar istifadə olunur. Bu gün yarımkeçirici istehsal edən zavodlar kimi nəcib qazlardan geniş çeşidli qazlardan istifadə edirkriptonvəneonAzot Trifluoride (NF 3) və volfram Hexafluoride (WF 6) kimi reaktiv növlərə.

Saflıq üçün artan tələb

İlk kommersiya mikroçının ixtirası olduğundan, dünya yarımkeçirici qurğuların performansında heyrətamiz yaxınlaşan heyrətamiz bir artımın şahidi oldu. Son beş ildə bu cür performansın yaxşılaşdırılmasına nail olmaq üçün ən yüksək yollardan biri də "ölçülü miqyaslama" vasitəsilə, verilmiş bir məkana daha çox tranzistoru sıxmaq üçün mövcud çip memarlığının əsas ölçülərini azaltmaq. Bundan əlavə, yeni çip memarlığının inkişafı və qabaqcıl materialların istifadəsi cihazın performansında sıçrayışlar hazırladı.

Bu gün, qabaqcıl yarımkeçiricilərin kritik ölçüləri artıq kiçikdir ki, ölçülü ölçülər artıq cihazın fəaliyyətini yaxşılaşdırmaq üçün əlverişli bir yol deyil. Bunun əvəzinə, yarımkeçirici tədqiqatçılar roman materialları və 3D çip memarlığı şəklində həll yollarını axtarırlar.

Dekəşant yenidən tərtibat mənasını verən bugünkü yarımkeçirici qurğular köhnə mikroçiplərdən daha güclüdür - ancaq daha da kövrəkdirlər. 300 mm vafli istehsal texnologiyasının gəlməsi yarımkeçirici istehsal üçün tələb olunan çirklərin idarə olunmasının səviyyəsini artırdı. Bir istehsal prosesində ən kiçik bir çirklənmə (xüsusən nadir və ya inert qazlar) fəlakətli avadanlıq çatışmazlığına səbəb ola bilər - buna görə qaz saflığı artıq həmişəkindən daha vacibdir.

Tipik yarımkeçirici istehsal zavodu üçün ultra yüksək saflıq qazı, silikonun özündən sonra ən böyük maddi xərclərdir. Bu xərclərin yalnız yarımkeçiricilərin tələbi üçün tələb olunacağı gözlənilir ki, yeni yüksəkliklərə qədər. Avropadakı hadisələr gərgin ultra yüksək təzyiqli təbii qaz bazarına əlavə pozulmalara səbəb oldu. Ukrayna dünyanın ən böyük ən böyük ixracatçılarından biridirneonişarələr; Rusiyanın işğalı, nadir qazın tədarükü məhdudlaşdırılır. Bu da öz növbəsində digər nəcib qazların çatışmazlığı və daha yüksək qiymətlərinə səbəb oldukriptonvəxenon.