Bor trixlorid (BCl3)yarımkeçiricilərin istehsalında quru aşındırma və kimyəvi buxar çökmə (CVD) proseslərində geniş istifadə olunan qeyri-üzvi birləşmədir. Otaq temperaturunda kəskin kəskin qoxusu olan rəngsiz qazdır və rütubətli havaya həssasdır, çünki hidrolizləşərək xlorid turşusu və bor turşusu əmələ gətirir.

Bor trixlorid tətbiqləri

Yarımkeçirici sənayesində,Bor trixloridəsasən alüminiumun quru aşındırılması üçün və silikon vaflilərdə P tipli bölgələr yaratmaq üçün əlavə olaraq istifadə olunur. O, həmçinin GaAs, Si, AlN kimi materialları aşındırmaq üçün və müəyyən xüsusi tətbiqlərdə bor mənbəyi kimi istifadə edilə bilər. Bundan əlavə, Bor trixlorid metal emalı, şüşə sənayesi, kimyəvi analiz və laboratoriya tədqiqatlarında geniş istifadə olunur.

Bor trixloridinin təhlükəsizliyi

Bor trixloridaşındırıcı və zəhərlidir və gözlərə və dəriyə ciddi ziyan vura bilər. Zəhərli hidrogen xlorid qazını buraxmaq üçün nəmli havada hidroliz olur. Buna görə də, işləyərkən müvafiq təhlükəsizlik tədbirləri görülməlidirBor trixlorido cümlədən qoruyucu geyim, eynək və tənəffüs orqanlarını mühafizə vasitələri taxmaq və yaxşı havalandırılan mühitdə işləmək.