Bor triklorid (BCl3)yarımkeçirici istehsalında quru aşındırma və kimyəvi buxar çökdürmə (CVD) proseslərində geniş istifadə olunan qeyri-üzvi birləşmədir. Otaq temperaturunda güclü kəskin qoxuya malik rəngsiz bir qazdır və xlorid turşusu və bor turşusu istehsal etmək üçün hidroliz etdiyi üçün rütubətli havaya həssasdır.

Bor Trikloridin Tətbiqləri

Yarımkeçirici sənayesində,Bor trikloridəsasən alüminiumun quru aşındırılması və silikon lövhələrdə P tipli bölgələr yaratmaq üçün aşqar kimi istifadə olunur. Həmçinin GaAs, Si, AlN kimi materialları aşındırmaq və müəyyən spesifik tətbiqlərdə bor mənbəyi kimi istifadə edilə bilər. Bundan əlavə, bor trixlorid metal emalı, şüşə sənayesi, kimyəvi analiz və laboratoriya tədqiqatlarında geniş istifadə olunur.

Bor Trixloridin Təhlükəsizliyi

Bor trikloridkorroziyalı və zəhərlidir və gözlərə və dəriyə ciddi ziyan vura bilər. Nəmli havada hidroliz edərək zəhərli hidrogen xlorid qazını buraxır. Buna görə də, istifadə zamanı müvafiq təhlükəsizlik tədbirləri görülməlidir.Bor trikloridqoruyucu geyim, eynək və tənəffüs orqanlarını mühafizə vasitələri taxmaq və yaxşı havalandırılan mühitdə işləmək də daxil olmaqla.