Hidrogen xloridkəskin qoxulu rəngsiz qazdır. Onun sulu məhlulu xlorid turşusu adlanır və bu da xlorid turşusu kimi də tanınır. Hidrogen xlorid suda çox həll olur. 0°C-də 1 həcm su təxminən 500 həcm hidrogen xloridini həll edə bilər.

Aşağıdakı xüsusiyyətlərə və xüsusiyyətlərə malikdir:

1. Yüksək təmizlik

Elektron dərəcəli təmizlikhidrogen xloridyarımkeçirici istehsal prosesinə heç bir çirkləndiricinin daxil edilməməsini təmin etmək üçün çox yüksək, adətən ppm və ya daha aşağı səviyyədədir.

2. Ətalət

Bu, bir çox digər maddələrlə reaksiyaya girməyən kimyəvi cəhətdən inert bir qazdır və bu, yarımkeçirici materialların və avadanlıqların çirklənməsinin qarşısını almaq üçün çox vacibdir.

3. Yüksək sabitlik

Elektron dərəcəlihidrogen xloridümumiyyətlə etibarlı yarımkeçirici emalı təmin etmək üçün sabit kimyaya malikdir.

Yarımkeçirici emalda elektron dərəcəli hidrogen xloridin əsas tətbiqlərinə aşağıdakılar daxildir:

1. Səthin təmizlənməsi və hazırlanması

Səmərəli səth təmizləyicisi kimi, elektron dərəcəlihidrogen xloridepitaksial təbəqənin və ya filmin keyfiyyətini və saflığını təmin etmək üçün substrat səthindən oksidləri və çirkləri təmizləmək üçün istifadə olunur.

2. Epitaksial böyüməyə kömək

Epitaksial prosesdə səthi təmizləmə agenti kimi istifadə edildikdə, epitaksial təbəqənin keyfiyyətini yaxşılaşdırmağa, qəfəs uyğunluğunu yaxşılaşdırmağa və qəfəs qüsurlarının əmələ gəlməsini azaltmağa kömək edir.

3. Substratın əvvəlcədən işlənməsi

Yarımkeçirici cihazların hazırlanmasından əvvəl elektron dərəcəlihidrogen xloridepitaksial təbəqə ilə substrat arasındakı yapışmanı yaxşılaşdırmaq üçün sabit bir baza yaratmaq məqsədilə substrat səthini emal etmək üçün istifadə edilə bilər.

4. Çöküntü köməkçi agenti

Kimyəvi buxar çöküntüsü (CVD) və ya fiziki buxar çöküntüsü (PVD) prosesində, elektron dərəcəli hidrogen xlorid yarımkeçirici materialların çöküntü reaksiyasında iştirak etmək üçün qaz fazası ötürmə mühiti kimi istifadə edilə bilər.

5. Qaz fazalı ötürücü agent

Qaz fazalı ötürücü agent kimi, materialın çökmə sürətini və vahidliyini tənzimləməyə kömək etmək üçün reaksiya kamerasına digər qaz halındakı prekursorlar daxil edilir.

Bu xüsusiyyətlər elektron dərəcəni təmin edirhidrogen xloridyarımkeçirici texnologiyasında son cihazın performansına və etibarlılığına əsas təsir göstərən vacib bir emal agenti.

Yarımkeçirici emalda istifadəsinə əlavə olaraq, elektron dərəcəli hidrogen xlorid digər sahələrdə də müxtəlif istifadə sahələrini tapa bilər, o cümlədən: Yüksək təmizlikli materialların hazırlanması, Yanacaq elementləri, Yarımkeçirici materialın yetişdirilməsi, Buxar Fazalı Litoqrafiya, Material Analizi, Kimyəvi Tədqiqatlar.

Ümumiyyətlə, elektron dərəcəlihidrogen xloridyarımkeçirici istehsalı xaricində geniş tətbiq sahəsinə malik çox yönlü, yüksək təmizlikli qazdır.