Hidrogen xlorukəskin bir qoxu olan rəngsiz bir qazdır. Onun sulu məhlulu hidroklor turşusu kimi də tanınan hidroklor turşusu adlanır. Hidrogen xlorid suda çox həll olunur. 0 ° C-də, 1 suyun həcmi təxminən 500 həcmdə hidrogen xloridini həll edə bilər.

Aşağıdakı xüsusiyyətlərə və xüsusiyyətlərə malikdir:

1. Yüksək saflıq

Elektron sinifin saflığıhidrogen xloruYarımkeçirici istehsal prosesində heç bir çirklərin olmamasını təmin etmək üçün ümumiyyətlə PPM və ya daha aşağı səviyyədədir.

2. İnertsizlik

Yarımkeçirici materialların və avadanlıqların çirklənməsinin qarşısını almaq üçün çox vacib olan bir çox digər maddələrə reaksiya verməyən kimyəvi cəhətdən bir inert qazdır.

3. Yüksək sabitlik

Elektron dərəcəlihidrogen xloruÜmumiyyətlə etibarlı yarımkeçirici emalını təmin etmək üçün sabit kimya var.

Yarımkeçirici emalda elektron dərəcəli hidrogen xloridinin əsas tətbiqlərinə aşağıdakılar daxildir:

1. Səth təmizlənməsi və hazırlanması

Səmərəli bir səth təmizləyicisi, elektron sinif kimihidrogen xloruepitaxial təbəqənin və ya filmin keyfiyyətini və saflığını təmin etmək üçün substrat səthindən oksidlərin və çirkləri silmək üçün istifadə olunur.

2.Epitaxial böyümə köməyi

Epitaksial prosesdə bir səth təmizləyici vasitə kimi istifadə olunur, epitaxial təbəqənin keyfiyyətini yaxşılaşdırmağa, lattice uyğunlaşdırmanı yaxşılaşdırmağa və lattice qüsurlarının formalaşmasını azaltmağa kömək edir.

3. Tökmə sonrası

Yarımkeçirici cihazların hazırlanmasından əvvəl elektron sinifhidrogen xloruEpitaxial təbəqə və substrat arasındakı yapışma yaxşılaşdırmaq üçün sabit bir baza yaratmaq üçün substrat səthini müalicə etmək üçün istifadə edilə bilər.

4. Depozitura köməkçi agenti

Kimyəvi buxarlanma (CVD) və ya fiziki buxarlanma (PVD), elektron dərəcəli hidrogen xlori, yarımkeçirici materialların çökmə reaksiyasında iştirak etmək üçün bir qaz fazası köçürmə mühiti kimi istifadə edilə bilər.

5. Qaz-faza köçürmə agenti

Qaz-faza köçürmə agenti olaraq, digər qazlı prekursorlar, çökmə sürətini və materialın vahidliyini tənzimləmək üçün reaksiya otağına təqdim olunur.

Bu xüsusiyyətlər elektron qiymət verirhidrogen xloruSon cihazın performansına və etibarlılığına əsas təsir göstərən yarımkeçirici texnologiyada vacib bir emal agentliyi.

Yarımkeçirici emalda istifadəsinə əlavə olaraq, elektron dərəcəli hidrogen xlorid, digər sahələrdə müxtəlif istifadə edə bilər, o cümlədən digər sahələrdə, yanacaq hüceyrələrinin, yarımkeçirici materialın hazırlanması, buxar fazası litoqrafiya, maddi təhlil, kimyəvi tədqiqatlar.

Ümumiyyətlə, elektron sinifhidrogen xloruYarımkeçirici istehsal xaricində geniş ərizələrə sahib olan çox yönlü, yüksək saflıq qazıdır.