Hidrogen xloridkəskin qoxusu olan rəngsiz qazdır. Onun sulu məhlulu hidroklor turşusu adlanır, həmçinin hidroklor turşusu da deyilir. Hidrogen xlorid suda çox həll olur. 0°C temperaturda 1 həcm su təxminən 500 həcm hidrogen xloridini həll edə bilər.

Aşağıdakı xüsusiyyətlərə və xüsusiyyətlərə malikdir:

1. Yüksək təmizlik

Elektron sinifin təmizliyihidrogen xloridçox yüksəkdir, adətən ppm və ya daha aşağı səviyyədədir, bu da yarımkeçiricilərin istehsal prosesinə heç bir çirkin daxil edilməməsini təmin edir.

2. İnertlik

Yarımkeçirici materialların və avadanlıqların çirklənməsinin qarşısını almaq üçün çox vacib olan bir çox digər maddələrlə reaksiya verməyən kimyəvi cəhətdən təsirsiz bir qazdır.

3. Yüksək sabitlik

Elektron dərəcəlihidrogen xloridetibarlı yarımkeçirici emal təmin etmək üçün ümumiyyətlə sabit kimya var.

Yarımkeçirici emalda elektron dərəcəli hidrogen xloridin əsas tətbiqlərinə aşağıdakılar daxildir:

1. Səthin təmizlənməsi və hazırlanması

Səmərəli səth təmizləyicisi kimi, elektron dərəcəlihidrogen xloridepitaksial təbəqənin və ya filmin keyfiyyətini və təmizliyini təmin etmək üçün substratın səthindən oksidləri və çirkləri çıxarmaq üçün istifadə olunur.

2.Epitaksial böyüməyə kömək

Epitaksial prosesdə səthi təmizləmə agenti kimi istifadə olunur, epitaksial təbəqənin keyfiyyətini yaxşılaşdırmağa, şəbəkə uyğunluğunu yaxşılaşdırmağa və şəbəkə qüsurlarının əmələ gəlməsini azaltmağa kömək edir.

3. Substratın ilkin təmizlənməsi

Yarımkeçirici cihazların hazırlanmasından əvvəl elektron dərəcəlihidrogen xloridepitaksial təbəqə ilə substrat arasında yapışmanı yaxşılaşdırmaq üçün sabit bir baza yaratmaq üçün substratın səthini müalicə etmək üçün istifadə edilə bilər.

4. Çöküntü üçün köməkçi agent

Kimyəvi buxar çökmə (CVD) və ya fiziki buxar çökmə (PVD) prosesində elektron dərəcəli hidrogen xlorid yarımkeçirici materialların çökmə reaksiyasında iştirak etmək üçün qaz fazasının ötürülməsi vasitəsi kimi istifadə edilə bilər.

5. Qaz fazalı ötürmə agenti

Qaz fazalı ötürmə agenti olaraq, materialın çökmə sürətini və vahidliyini tənzimləməyə kömək etmək üçün reaksiya kamerasına digər qaz prekursorları daxil edilir.

Bu xüsusiyyətlər elektron qiymət yaradırhidrogen xloridson cihazın performansına və etibarlılığına əsas təsir göstərən yarımkeçirici texnologiyasında mühüm emal agenti.

Yarımkeçiricilərin emalında istifadəsinə əlavə olaraq, elektron dərəcəli hidrogen xlorid digər sahələrdə müxtəlif istifadələr tapa bilər, o cümlədən: Yüksək təmizlikdə materialların hazırlanması, Yanacaq hüceyrələri, Yarımkeçirici materialın böyüməsi, Buxar Fazalı Litoqrafiya, Material Təhlili, Kimyəvi Tədqiqatlar.

Ümumiyyətlə, elektron qiyməthidrogen xloridyarımkeçiricilər istehsalından kənarda geniş tətbiq sahəsinə malik çox yönlü, yüksək təmizlikli qazdır.