2018-ci ildə inteqral sxemlər üçün qlobal elektron qaz bazarı illik müqayisədə 16% artımla 4,512 milyard ABŞ dollarına çatdı. Yarımkeçiricilər üçün elektron xüsusi qaz sənayesinin yüksək artım tempi və böyük bazar ölçüsü elektron xüsusi qazın daxili əvəzetmə planını sürətləndirdi!
Elektron qazı nədir?
Elektron qaz yarımkeçiricilərin, düz panelli displeylərin, işıq yayan diodların, günəş batareyalarının və digər elektron məhsulların istehsalında istifadə olunan əsas mənbə materialına aiddir və təmizləmə, aşındırma, film əmələ gətirmə, aşındırma və digər proseslərdə geniş istifadə olunur. Elektron qazın əsas tətbiq sahələrinə elektronika sənayesi, günəş batareyaları, mobil rabitə, avtomobil naviqasiyası və avtomobil audio və video sistemləri, aerokosmik, hərbi sənaye və bir çox digər sahələr daxildir.
Elektron xüsusi qaz öz kimyəvi tərkibinə görə yeddi kateqoriyaya bölünə bilər: silisium, arsen, fosfor, bor, metal hidrid, halid və metal alkoksid. İnteqral sxemlərdə müxtəlif tətbiq üsullarına görə, o, aşqar qazı, epitaksiya qazı, ion implantasiya qazı, işıq yayan diod qazı, aşındırma qazı, kimyəvi buxar çökmə qazı və balans qazı kimi bölünə bilər. Yarımkeçirici sənayesində 110-dan çox vahid xüsusi qaz istifadə olunur ki, bunlardan 30-dan çoxu ümumi istifadə olunur.
Ümumiyyətlə, yarımkeçirici istehsal sənayesi qazları iki növə bölür: adi qazlar və xüsusi qazlar. Bunların arasında geniş istifadə olunan qaz mərkəzləşdirilmiş təchizatı ifadə edir və N2, H2, O2, Ar, He və s. kimi çoxlu qaz istifadə edir. Xüsusi qaz yarımkeçirici istehsalı prosesində istifadə olunan bəzi kimyəvi qazlara, məsələn, uzatma, ion yeridilməsi, qarışdırma, yuma və maska əmələ gətirmə kimi qazlara aiddir ki, bu da indi elektron xüsusi qaz adlandırdığımız qazdır, məsələn, yüksək təmizlikli SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 və s.
Yarımkeçirici sənayesinin bütün istehsal prosesində, çip istehsalından tutmuş son cihaz qablaşdırmasına qədər, demək olar ki, hər bir əlaqə elektron xüsusi qazdan, istifadə olunan qazın müxtəlifliyindən və yüksək keyfiyyət tələblərindən ayrılmazdır, buna görə də elektron qaz yarımkeçirici materiallara malikdir. "Qida".
Son illərdə Çinin yarımkeçiricilər və displey panelləri kimi əsas elektron komponentlərinin yeni istehsal gücləri artıb və elektron kimyəvi materialların idxal əvəzlənməsinə güclü tələbat var. Yarımkeçiricilər sənayesində elektron qazların mövqeyi getdikcə daha çox diqqət çəkib. Yerli elektron qaz sənayesi sürətli böyüməyə səbəb olacaq.
Elektron xüsusi qazın təmizliyə çox yüksək tələbləri var, çünki təmizlik tələblərə cavab vermirsə, elektron xüsusi qazdakı su buxarı və oksigen kimi çirk qrupları yarımkeçiricinin səthində asanlıqla oksid təbəqəsi əmələ gətirəcək ki, bu da elektron cihazların xidmət müddətinə təsir göstərir və elektron xüsusi qazın tərkibində çirk hissəcikləri yarımkeçiricilərdə qısaqapanmalara və dövrə zədələnməsinə səbəb ola bilər. Deyə bilərik ki, təmizliyin yaxşılaşdırılması elektron cihaz istehsalının məhsuldarlığında və performansında mühüm rol oynayır.
Yarımkeçirici sənayesinin davamlı inkişafı ilə çip istehsal prosesi təkmilləşməyə davam edir və indi 5 nm-ə çatıb ki, bu da Mur Qanununun həddinə yaxınlaşmaq üzrədir ki, bu da insan saçının diametrinin iyirmi birinə (təxminən 0,1 mm) bərabərdir. Buna görə də, bu, yarımkeçiricilər tərəfindən istehsal olunan elektron xüsusi qazın təmizliyinə daha yüksək tələblər irəli sürür.
Yayımlanma vaxtı: 15 Dekabr 2021
