2018-ci ildə inteqral sxemlər üçün qlobal elektron qaz bazarı illik müqayisədə 16% artaraq 4,512 milyard ABŞ dollarına çatıb. Yarımkeçiricilər üçün elektron xüsusi qaz sənayesinin yüksək artım tempi və nəhəng bazar ölçüsü elektron xüsusi qazın yerli əvəzetmə planını sürətləndirdi!
Elektron qaz nədir?
Elektron qaz yarımkeçiricilərin, düz panelli displeylərin, işıq diodlarının, günəş batareyalarının və digər elektron məhsulların istehsalında istifadə olunan əsas mənbə materialına aiddir və təmizləmə, aşındırma, plyonka əmələ gəlməsi, dopinq və digər proseslərdə geniş istifadə olunur. Elektron qazın əsas tətbiq sahələrinə elektronika sənayesi, günəş batareyaları, mobil rabitə, avtomobil naviqasiyası və avtomobil audio və video sistemləri, aerokosmik, hərbi sənaye və bir çox başqa sahələr daxildir.
Elektron xüsusi qazı öz kimyəvi tərkibinə görə yeddi kateqoriyaya bölmək olar: silikon, arsen, fosfor, bor, metal hidrid, halid və metal alkoksid. İnteqral sxemlərdə müxtəlif tətbiq üsullarına görə, dopinq qazı, epitaksi qazı, ion implantasiya qazı, işıq yayan diod qazı, aşındırıcı qaz, kimyəvi buxar çökmə qazı və balans qazına bölünə bilər. Yarımkeçirici sənayesində 110-dan çox vahid xüsusi qazlar istifadə olunur ki, onlardan 30-dan çoxu ümumi istifadə olunur.
Ümumiyyətlə, yarımkeçiricilər istehsalı sənayesi qazları iki növə ayırır: ümumi qazlar və xüsusi qazlar. Onların arasında ümumi istifadə edilən qaz mərkəzləşdirilmiş tədarükə aiddir və N2, H2, O2, Ar, He və s. kimi çoxlu qazdan istifadə edir. Xüsusi qaz yarımkeçiricilərin istehsalı prosesində istifadə olunan bəzi kimyəvi qazlara aiddir, məsələn, uzatma, ion vurma, qarışdırma, yuyulma və maskanın əmələ gəlməsi, ki, bizim indi elektron xüsusi qaz adlandırırıq. N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 və s.
Yarımkeçirici sənayenin bütün istehsal prosesində, çip artımından son cihazın qablaşdırılmasına qədər, demək olar ki, hər bir əlaqə elektron xüsusi qazdan və istifadə olunan qazın müxtəlifliyindən və yüksək keyfiyyət tələblərindən ayrılmazdır, buna görə elektron qaz yarımkeçirici materiallara malikdir. "Yemək".
Son illərdə yarımkeçiricilər və displey panelləri kimi Çinin əsas elektron komponentləri yeni istehsal gücündə artıb və elektron kimyəvi materialların idxalını əvəz etmək üçün güclü tələbat var. Yarımkeçiricilər sənayesində elektron qazların mövqeyi getdikcə daha qabarıq oldu. Yerli elektron qaz sənayesi sürətli inkişafa səbəb olacaq.
Elektron xüsusi qazın təmizliyə çox yüksək tələbləri var, çünki təmizlik tələblərə uyğun deyilsə, elektron xüsusi qazın tərkibindəki su buxarı və oksigen kimi çirklilik qrupları asanlıqla yarımkeçiricinin səthində oksid təbəqəsi əmələ gətirir ki, bu da elektron cihazların xidmət müddətinə təsir edir və elektron xüsusi qazın tərkibində olan çirklərin hissəcikləri yarımkeçiricilərin qısaqapanmasına və zədələnməsinə səbəb ola bilər. Demək olar ki, təmizliyin yaxşılaşdırılması elektron cihaz istehsalının məhsuldarlığında və performansında mühüm rol oynayır.
Yarımkeçirici sənayenin davamlı inkişafı ilə çip istehsalı prosesi təkmilləşməyə davam edir və indi o, insan saçının diametrinin iyirmidə birinə (təxminən 0,1 mm) bərabər olan Mur qanununun həddinə yaxınlaşmaq üzrə olan 5 nm-ə çatmışdır. Buna görə də bu, yarımkeçiricilərin istehsal etdiyi elektron xüsusi qazın təmizliyinə daha yüksək tələblər qoyur.
Göndərmə vaxtı: 15 dekabr 2021-ci il
