2018-ci ildə inteqral sxemlər üçün qlobal elektron qaz bazarı illik müqayisədə 16% artaraq 4,512 milyard ABŞ dollarına çatıb. Yarımkeçiricilər üçün elektron xüsusi qaz sənayesinin yüksək artım tempi və nəhəng bazar ölçüsü elektron xüsusi qazın yerli əvəzetmə planını sürətləndirdi!
Elektron qaz nədir?
Elektron qaz yarımkeçiricilərin, düz panelli displeylərin, işıq diodlarının, günəş batareyalarının və digər elektron məhsulların istehsalında istifadə olunan əsas mənbə materialına aiddir və təmizləmə, aşındırma, plyonka əmələ gəlməsi, dopinq və digər proseslərdə geniş istifadə olunur. Elektron qazın əsas tətbiq sahələrinə elektronika sənayesi, günəş batareyaları, mobil rabitə, avtomobil naviqasiyası və avtomobil audio və video sistemləri, aerokosmik, hərbi sənaye və bir çox başqa sahələr daxildir.
Elektron xüsusi qazı öz kimyəvi tərkibinə görə yeddi kateqoriyaya bölmək olar: silikon, arsen, fosfor, bor, metal hidrid, halid və metal alkoksid. İnteqral sxemlərdə müxtəlif tətbiq üsullarına görə, dopinq qazı, epitaksi qazı, ion implantasiya qazı, işıq yayan diod qazı, aşındırıcı qaz, kimyəvi buxar çökmə qazı və balans qazına bölünə bilər. Yarımkeçirici sənayesində 110-dan çox vahid xüsusi qazlar istifadə olunur ki, onlardan 30-dan çoxu ümumi istifadə olunur.
Ümumiyyətlə, yarımkeçiricilər istehsalı sənayesi qazları iki növə ayırır: ümumi qazlar və xüsusi qazlar. Onların arasında ümumi istifadə olunan qaz mərkəzləşdirilmiş tədarükə aiddir və çoxlu qaz istifadə edir, məsələn, N2, H2, O2, Ar, He və s. Xüsusi qaz yarımkeçiricilərin istehsalı prosesində istifadə olunan bəzi kimyəvi qazlara aiddir, məsələn. uzadılması, ion inyeksiyası, qarışdırılması, yuyulması və maskanın formalaşması, yəni yüksək təmizlikli SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3 kimi indi elektron xüsusi qaz adlandırdığımız şeydir. HCl, Cl2 və s.
Yarımkeçirici sənayenin bütün istehsal prosesində, çip artımından son cihazın qablaşdırılmasına qədər, demək olar ki, hər bir əlaqə elektron xüsusi qazdan və istifadə olunan qazın müxtəlifliyindən və yüksək keyfiyyət tələblərindən ayrılmazdır, buna görə elektron qaz yarımkeçirici materiallara malikdir. "Yemək".
Son illərdə yarımkeçiricilər və displey panelləri kimi Çinin əsas elektron komponentləri yeni istehsal gücündə artıb və elektron kimyəvi materialların idxalını əvəz etmək üçün güclü tələbat var. Yarımkeçiricilər sənayesində elektron qazların mövqeyi getdikcə daha qabarıq hala gəldi. Yerli elektron qaz sənayesi sürətli inkişafa səbəb olacaq.
Elektron xüsusi qazın təmizliyə çox yüksək tələbləri var, çünki təmizlik tələblərə cavab vermirsə, elektron xüsusi qazın tərkibindəki su buxarı və oksigen kimi çirklilik qrupları asanlıqla yarımkeçiricinin səthində oksid təbəqəsi əmələ gətirir və bu, elektron cihazların xidmət müddəti və elektron xüsusi qaz ehtiva edir Çirklərin hissəcikləri yarımkeçirici qısa qapanmalara və dövrə zədələnməsinə səbəb ola bilər. Demək olar ki, təmizliyin yaxşılaşdırılması elektron cihaz istehsalının məhsuldarlığında və performansında mühüm rol oynayır.
Yarımkeçirici sənayenin davamlı inkişafı ilə çip istehsalı prosesi təkmilləşməyə davam edir və indi o, insan saçının diametrinin iyirmidə birinə bərabər olan Mur qanununun həddinə yaxınlaşmaq üzrə olan 5nm-ə çatmışdır ( təxminən 0,1 mm). Buna görə də bu, yarımkeçiricilərin istehsal etdiyi elektron xüsusi qazın təmizliyinə daha yüksək tələblər qoyur.
Göndərmə vaxtı: 15 dekabr 2021-ci il
