Karbon Tetrafluorid (CF4)

Texniki Parametrlər

Karbon tetraflorid CF4 kimyəvi formuluna malik halogenləşdirilmiş bir karbohidrogendir. Halogenləşdirilmiş karbohidrogen, halogenləşdirilmiş metan, perflüorkarbon və ya qeyri-üzvi birləşmə kimi qəbul edilə bilər. Karbon tetraflorid rəngsiz və qoxusuz bir qazdır, suda həll olunmur, benzol və xloroformda həll olur. Normal temperatur və təzyiq altında sabitdir, güclü oksidləşdiricilərdən, alovlanan və ya alovlanan materiallardan çəkinin. Alışmayan qazdır, yüksək istiliyə məruz qaldıqda qabın daxili təzyiqi artacaq və çatlama və partlayış təhlükəsi var. Kimyəvi cəhətdən sabitdir və alovlanmır. Yalnız maye ammonyak-natrium metal reagenti otaq temperaturunda işləyə bilər. Karbon tetraflorid istixana effektinə səbəb olan bir qazdır. Çox sabitdir, atmosferdə uzun müddət qala bilər və çox güclü istixana qazıdır. Karbon tetraflorid müxtəlif inteqral sxemlərin plazma aşındırma prosesində istifadə olunur. Həmçinin lazer qazı kimi istifadə olunur və infraqırmızı detektorlar üçün aşağı temperaturlu soyuducularda, həlledicilərdə, sürtkü yağlarında, izolyasiya materiallarında və soyuducularda istifadə olunur. Mikroelektronika sənayesində ən çox istifadə edilən plazma aşındırma qazıdır. Tetrafluorometan yüksək təmizlikli qaz və tetrafluorometan yüksək təmizlikli qaz və yüksək təmizlikli oksigen qarışığıdır. Silisium, silisium dioksid, silisium nitrid və fosfosilikat şüşədə geniş istifadə edilə bilər. Volfram və volfram kimi nazik təbəqə materiallarının aşındırılması elektron cihazların səthinin təmizlənməsi, günəş batareyası istehsalı, lazer texnologiyası, aşağı temperaturlu soyuducu, sızma yoxlaması və çap dövrəsi istehsalında yuyucu vasitə kimi geniş istifadə olunur. İnteqral sxemlər üçün aşağı temperaturlu soyuducu və plazma quru aşındırma texnologiyası kimi istifadə olunur. Saxlama üçün tədbirlər: Sərin, havalandırılan yanmayan qaz anbarında saxlayın. Od və istilik mənbələrindən uzaq saxlayın. Saxlama temperaturu 30°C-dən çox olmamalıdır. Asanlıqla (yanan) yanıcı maddələrdən və oksidləşdiricilərdən ayrı saxlanılmalı və qarışıq saxlamalardan çəkinin. Saxlama sahəsi sızma təcili təmizləmə avadanlığı ilə təchiz olunmalıdır.

Tətbiq:

① Soyuducu maddə:

Tetrafluorometan bəzən aşağı temperaturlu soyuducu kimi istifadə olunur.

② Oyma:

Elektronika mikrofabrikasiyasında təkbaşına və ya oksigenlə birlikdə silikon, silikon dioksid və silikon nitrid üçün plazma aşındırıcısı kimi istifadə olunur.

Normal paket:

Üstünlük:

①Yüksək təmizlik, ən son avadanlıq;

②ISO sertifikatı istehsalçısı;

③Sürətli çatdırılma;

④Hər addımda keyfiyyətə nəzarət üçün onlayn analiz sistemi;

⑤Doldurmadan əvvəl silindrlə işləmək üçün yüksək tələb və dəqiq proses;