Spesifikasiya | 99,999% |
Oksigen+Arqon | ≤1ppm |
Azot | ≤4 ppm |
Rütubət (H2O) | ≤3 ppm |
HF | ≤0,1 ppm |
CO | ≤0,1 ppm |
CO2 | ≤1 ppm |
SF6 | ≤1 ppm |
Halokarbinlər | ≤1 ppm |
Ümumi çirkləri | ≤10 ppm |
Karbon tetraflorid kimyəvi formulu CF4 olan halogenləşdirilmiş karbohidrogendir. Halogenləşdirilmiş karbohidrogen, halogenləşdirilmiş metan, perfluorokarbon və ya qeyri-üzvi birləşmə kimi qəbul edilə bilər. Karbon tetraflorid rəngsiz və qoxusuz qazdır, suda həll olunmur, benzolda və xloroformda həll olunur. Normal temperatur və təzyiq altında sabitdir, güclü oksidləşdiricilərdən, yanan və ya yanan materiallardan çəkinin. Yanmayan qaz, yüksək istiliyə məruz qaldıqda qabın daxili təzyiqi artacaq və çatlama və partlama təhlükəsi var. Kimyəvi cəhətdən sabitdir və yanmazdır. Otaq temperaturunda yalnız maye ammonyak-natrium metal reagenti işləyə bilər. Karbon tetraflorid istixana effektinə səbəb olan bir qazdır. Çox sabitdir, atmosferdə uzun müddət qala bilir və çox güclü istixana qazıdır. Karbon tetraflorid müxtəlif inteqral sxemlərin plazma aşındırma prosesində istifadə olunur. O, həmçinin lazer qazı kimi istifadə olunur və aşağı temperaturlu soyuducularda, həlledicilərdə, sürtkü yağlarında, izolyasiya materiallarında və infraqırmızı detektorlar üçün soyuducularda istifadə olunur. Mikroelektronika sənayesində ən çox istifadə edilən plazma aşındırıcı qazdır. Bu, tetrafluorometan yüksək təmizlikli qaz və tetrafluorometan yüksək təmizlikli qaz və yüksək təmizlikli oksigen qarışığıdır. Silikon, silikon dioksid, silisium nitridi və fosfosilikat şüşəsində geniş istifadə edilə bilər. Volfram və volfram kimi nazik təbəqə materiallarının aşındırılması elektron cihazların səthinin təmizlənməsində, günəş batareyasının istehsalında, lazer texnologiyasında, aşağı temperaturda soyuducuda, sızma yoxlamasında və çap dövrə istehsalında yuyucu vasitədə geniş istifadə olunur. İnteqral sxemlər üçün aşağı temperaturlu soyuducu və plazma quru aşındırma texnologiyası kimi istifadə olunur. Saxlama üçün ehtiyat tədbirləri: Sərin, havalandırılan yanmayan qaz anbarında saxlayın. Yanğından və istilik mənbələrindən uzaq saxlayın. Saxlama temperaturu 30 ° C-dən çox olmamalıdır. O, asanlıqla (yanan) yanan maddələrdən və oksidləşdirici maddələrdən ayrı saxlanmalı və qarışıq saxlamalardan çəkinməlidir. Saxlama sahəsi sızma təcili müalicə avadanlığı ilə təchiz edilməlidir.
① Soyuducu:
Tetraflorometan bəzən aşağı temperaturlu soyuducu kimi istifadə olunur.
② Oyma:
Elektron mikrofabrikasında tək və ya oksigenlə birlikdə silikon, silikon dioksid və silisium nitridi üçün plazma aşındırıcısı kimi istifadə olunur.
Məhsul | Karbon tetrafloridCF4 | ||
Paket Ölçüsü | 40 litrlik silindr | 50 Ltr silindr | |
Doldurma Net Çəki/Sil | 30 kq | 38 kq | |
QTY 20' Konteynerə Yüklənir | 250 Sil | 250 Sil | |
Ümumi xalis çəki | 7,5 ton | 9,5 ton | |
Silindr tarasının çəkisi | 50 kq | 55 kq | |
Vana | CGA 580 |
①Yüksək təmizlik, ən son qurğu;
②ISO sertifikatı istehsalçısı;
③Sürətli çatdırılma;
④Hər addımda keyfiyyətə nəzarət üçün onlayn analiz sistemi;
⑤Yüksək tələb və doldurmadan əvvəl silindrlə işləmək üçün ciddi proses;