Karbon tetraflorid (CF4)

Qısa Təsvir:

Tetrafluorometan kimi də tanınan karbon tetraflorid normal temperatur və təzyiqdə rəngsiz, suda həll olunmayan qazdır.CF4 qazı hazırda mikroelektronika sənayesində ən çox istifadə edilən plazma aşındırıcı qazdır.O, həmçinin lazer qazı, kriogen soyuducu, həlledici, sürtkü, izolyasiya materialı və infraqırmızı detektor boruları üçün soyuducu kimi istifadə olunur.


Məhsul təfərrüatı

Məhsul Teqləri

Texniki Parametrlər

Spesifikasiya 99,999%
Oksigen+Arqon ≤1ppm
Azot ≤4 ppm
Rütubət (H2O) ≤3 ppm
HF ≤0,1 ppm
CO ≤0,1 ppm
CO2 ≤1 ppm
SF6 ≤1 ppm
Halokarbinlər ≤1 ppm
Ümumi çirkləri ≤10 ppm

Karbon tetraflorid kimyəvi formulu CF4 olan halogenləşdirilmiş karbohidrogendir.O, halogenləşdirilmiş karbohidrogen, halogenləşdirilmiş metan, perfluorokarbon və ya qeyri-üzvi birləşmə kimi qəbul edilə bilər.Karbon tetraflorid rəngsiz və qoxusuz qazdır, suda həll olunmur, benzol və xloroformda həll olunur.Normal temperatur və təzyiq altında sabitdir, güclü oksidləşdiricilərdən, yanan və ya yanan materiallardan çəkinin.Yanmayan qaz, yüksək istiliyə məruz qaldıqda qabın daxili təzyiqi artacaq və çatlama və partlama təhlükəsi var.Kimyəvi cəhətdən sabitdir və yanmazdır.Otaq temperaturunda yalnız maye ammonyak-natrium metal reagenti işləyə bilər.Karbon tetraflorid istixana effektinə səbəb olan bir qazdır.Çox sabitdir, atmosferdə uzun müddət qala bilir və çox güclü istixana qazıdır.Karbon tetraflorid müxtəlif inteqral sxemlərin plazma aşındırma prosesində istifadə olunur.O, həmçinin lazer qazı kimi istifadə olunur və aşağı temperaturlu soyuducularda, həlledicilərdə, sürtkü yağlarında, izolyasiya materiallarında və infraqırmızı detektorlar üçün soyuducu maddələrdə istifadə olunur.Mikroelektronika sənayesində ən çox istifadə edilən plazma aşındırıcı qazdır.Bu, tetrafluorometan yüksək təmizlikli qaz və tetrafluorometan yüksək təmizlikli qaz və yüksək təmizlikli oksigen qarışığıdır.Silikon, silikon dioksid, silisium nitridi və fosfosilikat şüşələrində geniş istifadə edilə bilər.Volfram və volfram kimi nazik təbəqə materiallarının aşındırılması elektron cihazların səthinin təmizlənməsində, günəş batareyasının istehsalında, lazer texnologiyasında, aşağı temperaturda soyuducuda, sızma yoxlamasında və çap dövrə istehsalında yuyucu vasitədə geniş istifadə olunur.İnteqral sxemlər üçün aşağı temperaturlu soyuducu və plazma quru aşındırma texnologiyası kimi istifadə olunur.Saxlama üçün ehtiyat tədbirləri: Sərin, havalandırılan yanmayan qaz anbarında saxlayın.Yanğından və istilik mənbələrindən uzaq saxlayın.Saxlama temperaturu 30 ° C-dən çox olmamalıdır.O, asanlıqla (yanan) yanan və oksidləşdirici maddələrdən ayrı saxlanmalı və qarışıq saxlamalardan qaçınmalıdır.Saxlama sahəsi sızmanın təcili müalicəsi avadanlığı ilə təchiz edilməlidir.

Ərizə:

① Soyuducu:

Tetraflorometan bəzən aşağı temperaturlu soyuducu kimi istifadə olunur.

  fdrgr Greg

② Oyma:

Elektron mikrofabrikasında tək və ya oksigenlə birlikdə silikon, silikon dioksid və silisium nitridi üçün plazma aşındırıcısı kimi istifadə olunur.

dsgre rgg

Normal paket:

Məhsul Karbon tetrafloridCF4
Paket Ölçüsü 40 litrlik silindr 50 Ltr silindr  
Doldurma Net Çəki/Sil 30 kq 38 kq  
QTY 20' Konteynerə Yüklənir 250 Sil 250 Sil
Ümumi xalis çəki 7,5 ton 9,5 ton
Silindr tarasının çəkisi 50 kq 55 kq
Vana CGA 580

Üstünlük:

①Yüksək təmizlik, ən son qurğu;

②ISO sertifikatı istehsalçısı;

③Sürətli çatdırılma;

④Hər addımda keyfiyyətə nəzarət üçün onlayn analiz sistemi;

⑤Yüksək tələb və doldurmadan əvvəl silindrlə işləmək üçün ciddi proses;


  • Əvvəlki:
  • Sonrakı:

  • Mesajınızı buraya yazın və bizə göndərin