Nisbətən inkişaf etmiş istehsal prosesləri olan yarımkeçirici vafli tullantıların istehsal prosesində təxminən 50 müxtəlif növ qaz lazımdır. Qazlar ümumiyyətlə toplu qazlara bölünür vəXüsusi qazlar.

Mikroelektronika və yarımkeçirici sənayesində qazların tətbiqi qazların istifadəsi həmişə yarımkeçirici proseslərdə mühüm rol oynamışdır, xüsusən də müxtəlif sahələrdə yarımkeçirici proseslər geniş istifadə olunur. Ulsi, TFT-LCD-dən hazırkı mikro elektromexaniki (MEMS) sənayesi, yarımkeçirici proseslər, o cümlədən quru tüstü, oksidləşmə, ion implantasiyası, nazik film çöküntüsü və s.

Məsələn, bir çox insan fişlərin qumdan hazırlandığını, ancaq çip istehsalının bütün prosesinə baxaraq, fotorezist, cilalama maye, hədəf materialı, xüsusi qaz və s. Kimi daha çox material lazımdır. Arxa ucu qablaşdırma, müxtəlif materialların substratları, pərəstişkarları, qurğuşun çərçivələri, bağlama materialları və s. Elektron Xüsusi qazlar, silikon gofreterinin ardından, maskalar və fotorezistlərin ardından silikon gofreyi, yarımkeçirici istehsal xərclərinin ikinci ən böyük materialıdır.

Qazın saflığı komponentlərin performans və məhsul məhsuldarlığına həlledici təsir göstərir və qaz təchizatı işçilərinin sağlamlığı və fabrik əməliyyatının təhlükəsizliyi ilə əlaqədardır. Niyə qazın saflığı proses xəttinə və personala belə böyük təsir göstərir? Bu şişirtmə deyil, ancaq qazın özünün təhlükəli xüsusiyyətləri ilə müəyyən edilir.

Yarımkeçirici sənayesində ümumi qazların təsnifatı

Adi qaz

Adi qaz da toplu qaz da deyilir: 5n və böyük bir istehsal və satış həcmindən daha təmiz bir tələb olan sənaye qazına aiddir. Fərqli hazırlıq metodlarına görə hava ayırma qazı və sintetik qaza bölmək olar. Hidrogen (H2), azot (n2), oksigen (o2), argon (A2) və s .;

İxtisas qazı

İxtisas qazı, xüsusi sahələrdə istifadə olunan və saflıq, müxtəliflik və xüsusiyyətlər üçün xüsusi tələblərə malik olan sənaye qazına aiddir. ƏsasənSih4, Ph3, b2h6, a8h3,Hcl, Cf4,Nh3, Pocl3, sih2cl2, sihcl3,Nh3, Bcl3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,Sf6... və s.

Spicial qazlarının növləri

Xüsusi qazların növləri: aşındırıcı, zəhərli, yanan, yanma dəstəkləyən, inert və s.
Tez-tez istifadə olunan yarımkeçirici qazlar aşağıdakı kimi təsnif edilir:
(i) Korroziyalı / Zəhərli:Hcl, Bf3, wf6, hbr, sih2cl2, nh3, ph3, cl2,Bcl3...
(ii) yanan: H2,CH4,Sih4, Ph3, ash3, sih2cl2, b2h6, ch2f2, ch3f, ...
(iii) Yanan: O2, CL2, N2O, NF3 ...
(iv) inert: N2,Cf4, C2f6,C4F8,Sf6, Co2,Ne,Kr, O ...

Yarımkeçirici çip istehsalında, təxminən 50 müxtəlif növ xüsusi qaz (xüsusi qazlar kimi) oksidləşmə, yayılma, çökmə, yırtma, inyeksiya, fotoliitoqrafiya və digər proseslərdə istifadə olunur və ümumi proses addımları yüzlərlə çoxdur. Məsələn, PH3 və ASH3, Ion implantasiya prosesində fosfor və arsen mənbələri kimi istifadə olunur, F-əsaslı qazlar CF4, CHF3, SF6 və Halogen qazları CI2, BCI3, HBR, Sih4, NH3, N2O, F2 / Kr / N2O, F2 / Kr / N2O, fotolitoqrafiya prosesində istifadə olunur.

Yuxarıdakı aspektlərdən bir çox yarımkeçirici qazın insan orqanizminə zərərli olduğunu başa düşə bilərik. Xüsusilə, SIH4 kimi bəzi qazların öz-özünə alovlanmasıdır. Nə qədər ki, sızdıqları müddətdə, havadakı oksigenlə şiddətlə reaksiya verəcəklər və yanmağa başlayacaqlar; və Ash3 olduqca zəhərlidir. Hər hansı bir az sızma insanların həyatına zərər verə bilər, buna görə xüsusi qazların istifadəsi üçün nəzarət sisteminin təhlükəsizliyinin təhlükəsizliyinə tələblər xüsusilə yüksəkdir.

Yarımkeçiricilərin "üç dərəcə" olması üçün yüksək saflıq qazları tələb olunur

Qazıma

Qazdakı çirk atmosferinin məzmunu ümumiyyətlə 99.99999% kimi qaz saflığının faizi kimi ifadə olunur. Ümumiyyətlə, elektron xüsusi qazlar üçün saflıq tələbi 5n-6N-ə çatır və murdar atmosfer məzmununun səsi (milyon başına), ppb (milyard başına) və ppt (trilyon başına) olan ppb (hissə) həcmi nisbəti ilə ifadə olunur. Elektron yarımkeçirici sahəsi xüsusi qazların saflığı və keyfiyyətli sabitliyi üçün ən yüksək tələblərə malikdir və elektron xüsusi qazların saflığı ümumiyyətlə 6n-dən çoxdur.

Quruluq

Qazdakı iz suyunun və ya nəmlik, ümumiyyətlə, atmosfer şehi nöqtəsi -70 ℃ kimi şeh nöqtəsində ifadə olunur.

Təmizlik

Qazdakı çirkləndirici hissəciklərin sayı, bir hissəcik ölçüsü olan hissəciklərin sayı neçə hissəcik / m3-də ifadə olunur. Sıxılmış hava üçün, ümumiyyətlə, yağ tərkibi olan qaçılmaz qatı qalıqların mq / m3-də ifadə olunur.