Ölkəmizin yarımkeçiricisi sənayesi və panel sənayesi yüksək səviyyədə rifah səviyyəsini qoruyur. Azotlu Trifluoride, panellərin və yarımkeçiricilərin istehsalında və emalında əvəzsiz və ən böyük həcmli xüsusi elektron qaz kimi geniş bir bazar məkanı var.
Adətən istifadə olunan flüor ehtiva edən xüsusi elektron qazlar daxildirKükürd hexafluoride (SF6), volfram hexafluoride (WF6),Karbon tetrafluoride (CF4), TriFluoromethane (CHF3), azot trifluoride (NF3), Hexafluoroetane (C2F6) və Octafluoropropan (C3F8). Azotlu Trifluoride (NF3) əsasən hidrogen flüoride-florid qazı yüksək enerji kimyəvi lazerlər üçün flüor mənbəyi kimi istifadə olunur. H2-O2 və F2 arasındakı reaksiya enerjisinin təsirli hissəsi (təxminən 25%) lazer radiasiyası ilə yayımlana bilər, buna görə də HF lazerlər kimyəvi lazerlər arasında ən perspektivli lazerlərdir.
Azotlu Trifluoride mikroelektronik sənayesində əla plazma etching qazıdır. Silikon və silikon nitriti, azot trifluoride, karbon tetrafluoridindən və karbon tetrafluorid və oksigen qarışığı və ya oksigen qarışığı ilə daha yüksək bir incə və seçmə qabiliyyətinə malikdir. Xüsusilə 1.5umdan az olan inteqrasiya edilmiş dövrə materiallarının yapışdırılmasında, azotlu trifluoride çox əla bir incə və seçmə qabiliyyətinə malikdir, eğimli obyektin səthində qalıq qoymadan və çox yaxşı bir təmizlik agentidir. Nanotexnologiyanın inkişafı və elektronika sənayesinin geniş miqyaslı inkişafı ilə, tələbi gündən-günə artacaq.
Fluor ehtiva edən xüsusi qaz növü kimi, nitrogen trifluoride (NF3) bazarda ən böyük elektron xüsusi qaz məhsuludur. Otaq temperaturunda, oksiyendən daha aktivdir, flüordan daha sabit və yüksək temperaturda idarə etmək asandır.
Azotlu Trifluoride əsasən plazma titreymə qabiliyyəti və reaksiya kamerası təmizləyici agenti, yarımkeçirici çiplər, düz panel displeyləri, optik liflər, fotovoltaik hüceyrələr və s.
Digər flüor tərkibli elektron qazlarla müqayisədə, azot triifluoride, xüsusən də silikon nitridi kimi silikon tərkibli materialların və selikmə tipli materialların üstündə olan yüksək bir təmizlik və selikmə malikdir və bu da çox yaxşı bir təmizlik agentidir və bu, emal prosesinin ehtiyaclarını ödəyə bilməz.
Saat: Dekabr-26-2024
