Ümumi flüor ehtiva edən xüsusi elektron qazlar daxildirKükürd hexafluoride (SF6), volfram hexafluoride (WF6),Karbon tetrafluoride (CF4), TriFluoromethane (CHF3), azot trifluoride (NF3), Hexafluoroetane (C2F6) və Octafluoropropan (C3F8).
Nanotexnologiyanın inkişafı və elektronika sənayesinin geniş miqyaslı inkişafı ilə, tələbi gündən-günə artacaq. Azotlu Trifluoride, panellərin və yarımkeçiricilərin istehsalında və emalında əvəzsiz və ən böyük istifadə olunan xüsusi bir elektron qaz kimi geniş bir bazar məkanı var.
Flüor ehtiva edən xüsusi qaz növü kimi,Azotlu Trifluoride (NF3)ən böyük bazar tutumu olan elektron xüsusi qaz məhsuludur. Otaq temperaturunda kimyəvi cəhətdən inert, yüksək temperaturda oksigendən daha aktiv, flüordan daha sabit və idarə etmək asandır. Azotlu Trifluoride əsasən plazma tire qazı və reaksiya kamerası təmizləyici agenti kimi istifadə olunur və yarımkeçirici fişlərin, düz panel ekranlarının, fotovoltaik hüceyrələrin və s. İstehsal sahələri üçün uyğundur.
Digər florin tərkibli elektron qazlarla müqayisədə,azot trifluoridesürətli reaksiya və yüksək səmərəlilik üstünlüklərinə malikdir. Xüsusilə silikon nitridi kimi silikon tərkibli materialların titrəməsində, yüksək bir incə dərəcəsi və seçmə qabiliyyətinə malikdir, eğimli obyektin səthində heç bir qalıq buraxmadan yüksəkdir. Həm də çox yaxşı bir təmizlik agentidir və emal prosesinin ehtiyaclarını ödəyə biləcək səthə çirklənmə yoxdur.
Time vaxt: Sep-14-2024
