Kükürd heksaflorid əla izolyasiya xüsusiyyətlərinə malik bir qazdır və tez-tez yüksək gərginlikli qövs söndürmə və transformatorlarda, yüksək gərginlikli ötürücü xətlərdə, transformatorlarda və s. istifadə olunur. Lakin bu funksiyalara əlavə olaraq, kükürd heksaflorid elektron aşındırıcı kimi də istifadə edilə bilər. .Elektron dərəcəli yüksək təmizlikli kükürd heksaflorid mikroelektronika texnologiyası sahəsində geniş istifadə olunan ideal elektron aşındırıcıdır.Bu gün Niu Ruide xüsusi qaz redaktoru Yueyue, silisium nitridin aşındırılmasında kükürd heksafluoridin tətbiqi və müxtəlif parametrlərin təsirini təqdim edəcəkdir.
Biz plazma gücünün dəyişdirilməsi, SF6/He-nin qaz nisbəti və katyonik qaz O2 əlavə edilməsi, onun TFT-nin SiNx elementinin qoruyucu təbəqəsinin aşındırma sürətinə təsirini müzakirə etmək və plazma radiasiyasından istifadə etmək daxil olmaqla, SF6 plazmasının SiNx aşındırma prosesini müzakirə edirik. spektrometr hər növün SF6/He, SF6/He/O2 plazmasındakı konsentrasiya dəyişikliklərini və SF6 dissosiasiya sürətini təhlil edir və SiNx aşındırma sürətinin dəyişməsi ilə plazma növlərinin konsentrasiyası arasındakı əlaqəni araşdırır.
Tədqiqatlar göstərdi ki, plazmanın gücü artırıldıqda aşındırma sürəti artır;plazmada SF6-nın axını sürəti artırsa, F atomunun konsentrasiyası artır və aşındırma sürəti ilə müsbət korrelyasiya olur.Bundan əlavə, sabit ümumi axın sürəti altında katyonik qaz O2 əlavə edildikdən sonra, aşındırma sürətini artıracaq təsir göstərəcək, lakin fərqli O2 / SF6 axın nisbətləri altında, üç hissəyə bölünə bilən müxtəlif reaksiya mexanizmləri olacaq. : (1 ) O2/SF6 axın nisbəti çox kiçikdir, O2 SF6-nın dissosiasiyasına kömək edə bilər və bu zaman aşındırma sürəti O2 əlavə edilmədiyindən daha böyükdür.(2) O2/SF6 axını nisbəti 1-ə yaxınlaşan intervala 0,2-dən çox olduqda, bu zaman SF6-nın F atomlarını əmələ gətirmək üçün çoxlu dissosiasiyaya uğraması səbəbindən aşındırma sürəti ən yüksək olur;lakin eyni zamanda plazmadakı O atomları da artır və SiNx film səthi ilə SiOx və ya SiNxO(yx) əmələ gətirmək asandır və O atomları artdıqca F atomları daha çətin olacaq. aşındırma reaksiyası.Buna görə də, O2/SF6 nisbəti 1-ə yaxın olduqda aşındırma sürəti yavaşlamağa başlayır. (3) O2/SF6 nisbəti 1-dən çox olduqda, aşındırma sürəti azalır.O2-nin böyük artması səbəbindən dissosiasiya olunmuş F atomları O2 ilə toqquşur və OF əmələ gətirir ki, bu da F atomlarının konsentrasiyasını azaldır, nəticədə aşındırma sürəti azalır.Buradan görünür ki, O2 əlavə olunduqda O2/SF6-nın axın nisbəti 0,2 ilə 0,8 arasında olur və ən yaxşı aşındırma sürəti əldə edilə bilər.
Göndərmə vaxtı: 06 dekabr 2021-ci il
