Elektronxüsusi qazlarxüsusi qazların vacib bir qoludur. Onlar yarımkeçirici istehsalının demək olar ki, hər bir halqasına nüfuz edir və ultra böyükmiqyaslı inteqral sxemlər, düz panelli ekran cihazları və günəş batareyaları kimi elektron sənayesinin istehsalı üçün əvəzolunmaz xammaldır.

Yarımkeçirici texnologiyasında flüor tərkibli qazlardan geniş istifadə olunur. Hazırda qlobal elektron qaz bazarında flüor tərkibli elektron qazlar ümumi həcmin təxminən 30%-ni təşkil edir. Flüor tərkibli elektron qazlar elektron informasiya materialları sahəsində xüsusi elektron qazların vacib tərkib hissəsidir. Onlar əsasən təmizləyici və aşındırıcı maddələr kimi istifadə olunur, həmçinin aşqarlar, film əmələ gətirən materiallar və s. kimi də istifadə edilə bilər. Bu məqalədə müəllif sizi ümumi flüor tərkibli qazları anlamağa yönəldəcək.

Aşağıdakılar geniş istifadə olunan flüor tərkibli qazlardır

Azot triflorid (NF3): Çöküntüləri təmizləmək və çıxarmaq üçün istifadə olunan qaz, adətən reaksiya kameralarını və avadanlıq səthlərini təmizləmək üçün istifadə olunur.

Kükürd heksaflüorid (SF6)Oksid çökmə proseslərində və izolyasiya mühitini doldurmaq üçün izolyasiyaedici qaz kimi istifadə olunan flüorlaşdırıcı maddə.

Hidrogen flüorid (HF): Silikon səthindən oksidləri təmizləmək və silikon və digər materialları aşındırmaq üçün aşındırıcı kimi istifadə olunur.

Azot flüoridi (NF): Silisium nitridi (SiN) və alüminium nitridi (AlN) kimi materialları aşındırmaq üçün istifadə olunur.

Trifluormetan (CHF3) vətetrafluorometan (CF4): Silisium florid və alüminium florid kimi florid materiallarını aşındırmaq üçün istifadə olunur.

Lakin, flüor tərkibli qazların toksiklik, korroziya və alışqanlıq da daxil olmaqla müəyyən təhlükələri var.

Toksiklik

Bəzi flüor tərkibli qazlar, məsələn, buxarı dəri və tənəffüs yollarını çox qıcıqlandıran və insan sağlamlığı üçün zərərli olan hidrogen flüorid (HF) kimi zəhərlidir.

Korroziyaya davamlılıq

Hidrogen florid və bəzi floridlər yüksək dərəcədə aşındırıcıdır və dəriyə, gözlərə və tənəffüs yollarına ciddi ziyan vura bilər.

Alovlanma

Bəzi flüoridlər alovlanır və havadakı oksigen və ya su ilə reaksiyaya girərək yanğına və ya partlayışa səbəb ola biləcək güclü istilik və zəhərli qazlar buraxır.

Yüksək təzyiq təhlükəsi

Bəzi flüorlu qazlar yüksək təzyiq altında partlayıcıdır və istifadə və saxlama zamanı xüsusi qayğı tələb edir.

Ətraf mühitə təsir

Flüor tərkibli qazların atmosfer ömrü yüksəkdir və ümumi daxili məhsul dəyərləri atmosferin ozon təbəqəsinə dağıdıcı təsir göstərir və qlobal istiləşməyə və ətraf mühitin çirklənməsinə səbəb ola bilər.

Qazların elektronika kimi inkişaf etməkdə olan sahələrdə tətbiqi dərinləşməyə davam edir və bu da sənaye qazlarına böyük miqdarda yeni tələbat yaradır. Çinin materik hissəsində növbəti bir neçə ildə yarımkeçiricilər və ekran panelləri kimi əsas elektron komponentlərin böyük miqdarda yeni istehsal gücünə, eləcə də elektron kimyəvi materialların idxal əvəzlənməsinə güclü tələbata əsaslanaraq, yerli elektron qaz sənayesi yüksək artım tempi ilə inkişaf edəcək.