ElektronXüsusi qazlarxüsusi qazların vacib bir qoludur. Yarımkeçirici istehsalın demək olar ki, hər bağlantısına nüfuz edir və ultra geniş miqyaslı inteqrasiya edilmiş sxemlər, düz panel ekran cihazları və günəş hüceyrələri kimi elektron sənaye sahələrinin istehsalı üçün əvəzolunmaz xammaldır.

Yarımkeçirici texnologiyada flüor tərkibli qazlar geniş istifadə olunur. Hal-hazırda, qlobal elektron qaz bazarında flüor ehtiva edən elektron qazlar cəmi təxminən 30% təşkil edir. Flüor ehtiva edən elektron qazlar elektron informasiya materialları sahəsində xüsusi elektron qazların vacib bir hissəsidir. Bunlar əsasən təmizləyici maddələr və ayırma agentləri kimi istifadə olunur və bu yazıda da dopantlar, film yaradan materiallar və s. Olaraq istifadə edilə bilər, müəllif, müəllif sizi ümumi florin tərkibli qazları başa düşməyə məcbur edəcəkdir.

Aşağıdakılar ümumiyyətlə istifadə olunan flüor tərkibli qazlardır

Azotlu Trifluoride (NF3): Depozitlərin təmizlənməsi və aradan qaldırılması üçün istifadə olunan bir qaz, ümumiyyətlə reaksiya otaqları və avadanlıq səthləri təmizləmək üçün istifadə olunur.

Kükürd hexafluoride (SF6): Oksid çöküntü proseslərində və izolyasiya edən medianı doldurmaq üçün izolyasiya edən bir qaz kimi istifadə olunan bir flüorinatlı bir agent.

Hydrogen Fluoride (HF): Silikon səthindən oksidləri və silikon və digər materiallar üçün bir etchant kimi çıxartmaq üçün istifadə olunur.

Azot Fluoride (NF): Silikon nitridi (Günah) və alüminium nitridi (ALN) kimi materiallar üçün istifadə olunur.

Trifluorometan (chf3) vəTetrafluorometan (CF4): Silikon florid və alüminium flüor kimi florid materialları tətbiq etmək üçün istifadə olunur.

Bununla birlikdə, flüor ehtiva edən qazların müəyyən təhlükələri, o cümlədən toksiklik, aşındırıcılıq və yanma qabiliyyəti var.

Toksiklik

Bəzi flüor tərkibli qazlar, buxarı dəri və tənəffüs yollarına və insan sağlamlığına zərərli olan hidrogen flüoridi (HF) kimi zəhərlidir.

Korrosyektivlik

Hidrogen flüoridi və bəzi flüoridlər yüksək korroziyadır və dəri, gözlərə və tənəffüs yollarına ciddi ziyan vura bilər.

Alışma qabiliyyəti

Bəzi flüoridlər alovlanır və havadakı oksigen və ya su ilə reaksiya verir, güclü istilik və zəhərli qazlar buraxmaq üçün yanğın və ya partlayış yarada bilər.

Yüksək təzyiq təhlükəsi

Bəzi flüorlu qazlar yüksək təzyiq altında partlayıcıdır və istifadə edildikdə və saxlanıldıqda xüsusi qayğı tələb olunur.

Ətrafa təsir

Flüor ehtiva edən qazlar, atmosfer ozon qatına dağıdıcı təsir göstərən və qlobal istiləşmə və ətraf mühitin çirklənməsinə səbəb ola biləcək yüksək atmosfer ömrü və GWP dəyərlərinə malikdir.

Elektronike kimi ortaya çıxan sahələrdə qazların tətbiqi, sənaye qazlarına çoxlu yeni tələbat gətirərək dərinləşməyə davam edir. Növbəti bir neçə ildə yarımkeçiricilər və Mainland Çində yarımkeçiricilər və ekran panelləri kimi böyük elektron komponentlərin böyük miqdarda yeni istehsal gücünə əsasən, eləcə də elektron kimyəvi materialların idxalı əvəzlənməsinə güclü tələb, daxili elektron qaz sənayesi yüksək böyümə sürətinə sahib olacaqdır.