Elektronxüsusi qazlarxüsusi qazların mühüm qoludur. Onlar yarımkeçirici istehsalının demək olar ki, hər bir hissəsinə nüfuz edir və ultra geniş miqyaslı inteqral sxemlər, düz panel ekran cihazları və günəş batareyaları kimi elektron sənayelərin istehsalı üçün əvəzsiz xammaldır.

Yarımkeçirici texnologiyada flüor tərkibli qazlardan geniş istifadə olunur. Hazırda qlobal elektron qaz bazarında flüor tərkibli elektron qazlar ümumi həcmin təxminən 30%-ni təşkil edir. Flüor tərkibli elektron qazlar elektron informasiya materialları sahəsində xüsusi elektron qazların mühüm tərkib hissəsidir. Onlar əsasən təmizləyici maddələr və aşındırıcı maddələr kimi istifadə olunur, həmçinin əlavə maddələr, film əmələ gətirən materiallar və s. kimi istifadə edilə bilər. Bu məqalədə müəllif sizi ümumi flüor tərkibli qazları başa düşməyə aparacaq.

Aşağıdakılar ümumi istifadə olunan flüor tərkibli qazlardır

Azot trifluorid (NF3): Çöküntülərin təmizlənməsi və çıxarılması üçün istifadə edilən qaz, adətən reaksiya kameralarının və avadanlıq səthlərinin təmizlənməsi üçün istifadə olunur.

Kükürd heksaflorid (SF6): Oksidin çökdürülməsi proseslərində və izolyasiya materialının doldurulması üçün izolyasiya qazı kimi istifadə olunan flüorlaşdırıcı agent.

Hidrogen flüorid (HF): Silikon səthindən oksidləri çıxarmaq və silisium və digər materialları aşındırmaq üçün istifadə olunur.

Azot flüorid (NF): Silikon nitridi (SiN) və alüminium nitridi (AlN) kimi materialları aşındırmaq üçün istifadə olunur.

Triflorometan (CHF3) vətetraflorometan (CF4): Silikon flüorid və alüminium flüor kimi flüorlu materialları aşındırmaq üçün istifadə olunur.

Bununla belə, flüor tərkibli qazlar müəyyən təhlükələrə malikdir, o cümlədən toksiklik, aşındırıcılıq və alışqanlıq.

Toksiklik

Bəzi flüor tərkibli qazlar zəhərlidir, məsələn, hidrogen flüorid (HF), buxarı dərini və tənəffüs yollarını çox qıcıqlandırır və insan sağlamlığı üçün zərərlidir.

Korrozivlik

Hidrogen flüorid və bəzi flüoridlər yüksək aşındırıcıdır və dəri, göz və tənəffüs yollarına ciddi ziyan vura bilər.

Yananlıq

Bəzi flüoridlər yanandır və güclü istilik və zəhərli qazlar buraxmaq üçün havada oksigen və ya su ilə reaksiya verir, bu da yanğına və ya partlayışa səbəb ola bilər.

Yüksək təzyiq təhlükəsi

Bəzi flüorlu qazlar yüksək təzyiq altında partlayıcıdır və istifadə edildikdə və saxlandıqda xüsusi diqqət tələb edir.

Ətraf mühitə təsir

Flüor tərkibli qazlar atmosferin ozon təbəqəsinə dağıdıcı təsir göstərən və qlobal istiləşməyə və ətraf mühitin çirklənməsinə səbəb ola biləcək yüksək atmosfer ömrü və GWP dəyərlərinə malikdir.

Qazların elektronika kimi inkişaf etməkdə olan sahələrdə tətbiqi dərinləşməyə davam edir və sənaye qazlarına böyük miqdarda yeni tələbat gətirir. Qarşıdakı bir neçə il ərzində materik Çində yarımkeçiricilər və displey panelləri kimi əsas elektron komponentlərin böyük həcmdə yeni istehsal gücünə, eləcə də elektron kimyəvi materialların idxalını əvəz etməyə güclü tələbata əsaslanaraq, yerli elektron qaz sənayesi yüksək artım tempi.