Komponent | 99.9999% | Vahid |
Oksigen (Ar) | ≤0,1 | ppmV |
Azot | ≤0,1 | ppmV |
hidrogen | ≤20 | ppmV |
Helium | ≤10 | ppmV |
CO+CO2 | ≤0,1 | ppmV |
THC | ≤0,1 | ppmV |
Xlorosilanlar | ≤0,1 | ppmV |
Disiloksan | ≤0,1 | ppmV |
Disilane | ≤0,1 | ppmV |
Nəmlik (H2O) | ≤0,1 | ppmV |
Silan silisium və hidrogen birləşməsidir. Bu, monosilan (SiH4), disilan (Si2H6) və bəzi yüksək səviyyəli silisium-hidrogen birləşmələri daxil olmaqla bir sıra birləşmələr üçün ümumi termindir. Onların arasında monosilan ən çox yayılmışdır, bəzən qısaca silan adlandırılır. Silan sarımsağın iyrənc qoxusu olan rəngsiz bir qazdır. Suda həll olunur, etanolda, efirdə, benzolda, xloroformda, silisium xloroformunda və silisium tetraxloriddə demək olar ki, həll olunmur. Silanların kimyəvi xassələri alkanlardan qat-qat aktivdir və asanlıqla oksidləşir. Hava ilə təmasda olduqda özbaşına yanma baş verə bilər. 25°C-dən aşağı azotla reaksiya vermir və otaq temperaturunda karbohidrogen birləşmələri ilə reaksiya vermir. Silanın yanğını və partlaması oksigenlə reaksiyanın nəticəsidir. Silan oksigenə və havaya son dərəcə həssasdır. Müəyyən bir konsentrasiyaya malik silan da -180°C temperaturda oksigenlə partlayıcı reaksiya verəcəkdir. Silan yarımkeçirici mikroelektronika proseslərində istifadə edilən ən vacib xüsusi qaza çevrildi və müxtəlif mikroelektron filmlərin, o cümlədən monokristal filmlərin, mikrokristalin, polikristalin, silikon oksidin, silikon nitridin və metal silisidlərin hazırlanmasında istifadə olunur. Silanın mikroelektronik tətbiqləri hələ də dərindən inkişaf edir: aşağı temperaturlu epitaksiya, selektiv epitaksiya və heteroepitaksial epitaksiya. Yalnız silisium cihazları və silisium inteqral sxemləri üçün deyil, həm də mürəkkəb yarımkeçirici qurğular üçün (qallium arsenid, silisium karbid və s.) O, həmçinin super şəbəkəli kvant quyusu materiallarının hazırlanmasında tətbiqlərə malikdir. Demək olar ki, silan müasir dövrdə demək olar ki, bütün qabaqcıl inteqral sxem istehsal xətlərində istifadə olunur. Silanın silikon tərkibli film və örtük kimi tətbiqi ənənəvi mikroelektronika sənayesindən polad, maşınqayırma, kimya və optika kimi müxtəlif sahələrə qədər genişlənmişdir. Silanın başqa bir potensial tətbiqi yüksək performanslı keramika mühərrik hissələrinin istehsalıdır, xüsusən silisid (Si3N4, SiC və s.) Mikrotoz texnologiyasının istehsalı üçün silanın istifadəsi getdikcə daha çox diqqəti cəlb edir.
①Elektron:
Silan yarımkeçiricilər və mastiklər istehsal edərkən silikon vaflilərdə polikristal silikon təbəqələrə tətbiq olunur.
②Günəş:
Silan günəş fotovoltaik modullarının istehsalında istifadə olunur.
③Sənaye:
Enerjiyə qənaət edən Yaşıl Şüşələrdə istifadə olunur və buxarların çökdürülməsi üçün nazik film prosesində tətbiq olunur.
Məhsul | Silan SiH4 maye | |
Paket Ölçüsü | 47 litrlik silindr | Y-440L |
Doldurma Net Çəki/Sil | 10Kq | 125 kq |
QTY 20' Konteynerə Yüklənir | 250 Sil | 8Cyls |
Ümumi xalis çəki | 2,5 ton | 1 ton |
Silindr tarasının çəkisi | 52 kq | 680 kq |
Vana | CGA632/DISS632 |
①Bazarda on ildən artıqdır;
②ISO sertifikatı istehsalçısı;
③Sürətli çatdırılma;
④Sabit xammal mənbəyi;
⑤Hər addımda keyfiyyətə nəzarət üçün onlayn analiz sistemi;
⑥Yüksək tələb və doldurmadan əvvəl silindrlə işləmək üçün ciddi proses;
⑦Purity: yüksək təmizlik elektron dərəcəli;
⑧İstifadə: günəş batareyası materialları; yüksək saflıqda polisilikon, silikon oksid və optik lif hazırlamaq; rəngli şüşə istehsalı.